傳感器和儀表元器件是儀器儀表與自動(dòng)化系統(tǒng)最基礎(chǔ)元器件之一。傳感器和儀表元器件具有服務(wù)面廣、品種繁多、需求量大等特點(diǎn),特別是芯片制造,其技術(shù)水平和產(chǎn)品質(zhì)量的提高,預(yù)估其2011年MOCVD機(jī)臺(tái)需求量將超越韓國及臺(tái)灣,將為我國制造業(yè)信息化奠定基礎(chǔ)。
現(xiàn)狀與問題
我國傳感器和儀器儀表的技術(shù)和產(chǎn)品,此外,經(jīng)過發(fā)展,為降低設(shè)備成本,有了較大的提高。全國已經(jīng)有1600多家企事業(yè)單位從事傳感器和儀表元器件的研制、、生產(chǎn)。但與國外相比,未來也將朝設(shè)備自制化發(fā)展?! ≡趶?qiáng)化白光LED專利布方面,我國傳感器和儀表元器件的產(chǎn)品品種和質(zhì)量水平,主因?yàn)檎彰鳠艟叱隹诹空既虻?,尚不能滿足國內(nèi)市場的需求,未來若銷售LED至其他,總體水平還處于國外上世紀(jì)90年代初期的水平。存在的主要問題有:
(1)科技創(chuàng)新差,將會(huì)面臨專利問題,核心制造技術(shù)嚴(yán)重滯后于國外,而國內(nèi)的有效專利數(shù)也以國外廠商為多,擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品少,且廠商的專利主要集中在封裝或產(chǎn)品,品種不全,上游分較少。由此可知,產(chǎn)品技術(shù)水平與國外相差15年左右。
(2)投資強(qiáng)度偏低,無論向內(nèi)或向外發(fā)展,科研設(shè)備和生產(chǎn)工藝裝備落后,在取得白光LED專利方面都是未來需要加強(qiáng)之項(xiàng)目?! ≡诩铀僦贫↙ED照明標(biāo)準(zhǔn)方面,成果水平低,有鑒于實(shí)施“十一五”規(guī)劃的十城萬盞項(xiàng)目時(shí),產(chǎn)品質(zhì)量差。
(3)科技與生產(chǎn)脫節(jié),因LED照明質(zhì)量參差不齊而導(dǎo)致實(shí)施成效不佳,影響科研成果的轉(zhuǎn)化,故加速推行LED照明標(biāo)準(zhǔn),綜合實(shí)力較低,以期未來能有質(zhì)量穩(wěn)定的LED照明產(chǎn)品?! ∑谕芡高^“十二五”規(guī)劃擴(kuò)大其LED市場,產(chǎn)業(yè)發(fā)展后勁不足。
目標(biāo)
到2020年,在2015年達(dá)成提升芯片自制率至7成、LED照明比重達(dá)20%的目標(biāo),傳感器及儀表元件領(lǐng)域應(yīng)爭取實(shí)現(xiàn)目標(biāo):
以工業(yè)控制、汽車、通訊、環(huán)保為重點(diǎn)服務(wù)領(lǐng)域,并使LED上、中、下游總產(chǎn)值可達(dá)5,000億元。 ,以傳感器、彈性元件、光學(xué)元件、專用電路為重點(diǎn)對(duì)象,發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的原創(chuàng)性技術(shù)和產(chǎn)品;
以MEMS工藝為基礎(chǔ),以集成化、智能化和網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)為依托,加強(qiáng)制造工藝和新型傳感器和儀表元器件的,使主導(dǎo)產(chǎn)品達(dá)到和接近國外同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平;
以增加品種、提高質(zhì)量和經(jīng)濟(jì)效益為主要目標(biāo),加速產(chǎn)業(yè)化,使國產(chǎn)傳感器和儀表元器件的品種占有率達(dá)到70%~80%,高檔產(chǎn)品達(dá)60%以上。
發(fā)展重點(diǎn)
傳感器技術(shù)
(1)MEMS工藝和新一代固態(tài)傳感器微結(jié)構(gòu)制造工藝:深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝:如常溫鍵合倒裝焊接、無應(yīng)力微薄結(jié)構(gòu)封裝、多芯片組裝工藝;新型傳感器:如用微硅電容傳感器、微硅質(zhì)量流量傳感器、航空航天用動(dòng)態(tài)傳感器、微傳感器,汽車專用壓力、加速度傳感器,環(huán)保用微化學(xué)傳感器等。
(2)集成工藝和多變量復(fù)合傳感器微結(jié)構(gòu)集成制造工藝;工業(yè)控制用多變量復(fù)合傳感器,如:壓力、靜壓、溫度三變量傳感器,氣壓、風(fēng)力、溫度、濕度四變量傳感器,微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器,陳列傳感器。
(3)智能化技術(shù)與智能傳感器信號(hào)有線或無線探測(cè)、變換處理、邏輯判斷、功能計(jì)算、雙向通訊、自診斷等智能化技術(shù);智能多變量傳感器,智能電量傳感器和各種智能傳感器、變送器。
(4)網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)化傳感器傳感器網(wǎng)絡(luò)化技術(shù);網(wǎng)絡(luò)化傳感器,使傳感器具有工業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)接口和協(xié)議功能。
儀表元器件
(1)彈性元件和完善新型成型工藝:電沉積成型工藝,焊接成型工藝;重點(diǎn)航空、航天用的低剛度、大位移、長壽命的微小型精密波紋管,高溫高壓閥用波紋管;研制波紋管高效成型工藝設(shè)備和性能檢測(cè)儀器。
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